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在离子注入行业中，石墨材料因其独特的物理和化学性质而被广泛应用于多个关键部件。以下是石墨在离子注入设备中的主要应用及其特点：
1. 离子源
(1)应用：作为离子源的电极材料。
(2)材料：高纯度石墨
(3)特点：
耐高温：石墨在高温下具有出色的稳定性和导电性。
低溅射率：在离子轰击下，石墨的溅射率较低，减少了对离子束的污染。
易于加工：石墨可以精确加工成复杂的形状，满足不同设计需求。
2. 离子束提取系统
(1)应用：作为离子束提取系统的电极和绝缘材料。
(2)材料：高纯度石墨、镀层石墨
(3)特点：
导电性好：高纯度石墨具有良好的导电性能，有助于离子束的**提取。
耐腐蚀：石墨在多种化学环境中表现出优异的耐腐蚀性能。
机械强度：通过适当的处理（如热处理），石墨可以获得较高的机械强度。
3. 真空系统
(1)应用：作为真空室的密封件和支撑结构。
(2)材料：高纯度石墨、柔性石墨
(3)特点：
密封性能好：柔性石墨可以提供可靠的密封效果，防止漏气。
石墨在离子注入行业中的应用非常广泛，其独特的物理和化学性质使其成为许多关键部件的理想材料。弘信新材供应的高纯度石墨的使用不仅提高了设备的性能和可靠性，还延长了设备的使用寿命。 |
