低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态。

当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。

放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。

低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在很短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

注意事项

废气的预处理不到位，废气中的油募或漆募等颗粒物进入低温等离子体净化设备，沉积在电极或器壁上，积累到一定程度后会引起设备着火。

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