对于含油雾或漆雾等颗粒物的废气，应配置过滤等适宜的预处理工艺，确保低温等离子体处理设备的安全性。

启动低温等离子体单元之前，需先启动风机吹扫处理系统，以防止放电火花引燃积聚的高浓度有机物。

由于不同种类的化合物被解离和氧化所需要的能量不同，低温等离子体技术对于不同种类的有机物和恶臭污染物的净化效果存在差异，在具体的工艺设计时应根据各种工况下废气的成分和浓度，确定低温等离子体净化技术的适应性。

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