低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。

放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。

低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。

低温等离子废气处理设备能处理有机物废气主要包括碳烃化合物、苯及苯系物、醇类、酮类、酚类、醛类、酯类、胺类、腈、氰等有机化合物，其中包括：
　　1、化学石化、有机合成反应设备排气；
　　2、印刷行业印墨中有机溶剂；
　　3、机械行业机械喷漆；
　　4、金属制品产生的气味；
　　5、汽车行业汽车的喷漆、干燥炉铸件生产设备排气；
　　6、五金、家具厂喷涂设备排气等。

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