一、CF4泄漏分析仪技术原理:
DKG-ONECF4气态分子污染物四氟化碳CF4泄漏分析仪是基于超灵敏悬臂梁增强光声光谱探测技术,结合量子级联激光(QCL)光源,工作于CF4的中红外基本光谱吸收峰。这两者的结合提供了足够的灵敏度可以无时延的探测微小浓度的CF4喷溅或者溢出,同时保证了超高水平的稳定性。重新校准的周期长达几个月甚至几年,大大减低了总体持有成本。
二、CF4泄漏分析仪特点:
l高选择性的监测痕量水平的CF4
l检测下限(LoD)低于0.1ppb
l响应时间可设置,从10秒到几分钟
l动态范围宽,运行稳定
l无耗材
l低样品量(几ml)
l内置气体交换系统
l重新校准间隔长(几个月)
l直观的用户界面
l内置显示屏,可数字式或者图线式显示结果
l可通过局域网远程操作
三、测量参数:
l响应时间:取决于用户可定义通道积分时间CIT以及气体冲洗设定。根据平均时间和采样设定从大约10秒到几分钟不等
l监测下限:小于0.1ppb
l动态量程:大于5个数量级(检测下限的100,000倍)
l重复性:运行条件下,校准浓度重复性小于1%
l准确度:校准浓度高于5%,受限于校准气体准确度
l温度稳定性:在运行温度范围内的环境温度变化不会导致漂移
l压力稳定性:压力范围内的样品压力变化不会导致漂移 |