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设备概述：
随着光通信滤光片的应用越来越广，质量要求也越来越高，因此对光通信滤光片的镀膜技术也同时提出了更高的要求。滤光片表面污染物的不同，材料品质不一，清洗后镀膜的种类、精度不同，清洗工艺也有着较大区别，清洗设备的结构也相应存在差异。
VGT-1403FP光通信滤光片光学超声波清洗机是专用于光通信滤光片镀膜前进行**滤光片表面尘埃、指印等污垢的高精度清洗系统。整个清洗工艺共有14个工位，经过**清洗、漂洗、IPA脱水及干燥使之达到高洁净度的要求。
工艺流程：
1洗剂超声清洗(除油)→2超声水剂洗(兼容漂洗)→3洗剂超声除腊→4超声水剂洗(兼容漂洗,与第二槽共用一个预热箱槽)→5洗剂超声清洗→6洗剂超声清洗→7洗剂超声清洗→8纯水超声漂洗→9纯水超声漂洗→10纯水超声漂洗→11IPA超声脱水→12IPA超声脱水→13IPA超声脱水→14IPA蒸汽干燥。
清洗原理：
高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工艺和配置外，更需要良好的脱水效果。工件表面如果有任何垢点或积水点，**都将影响清洗效果。IPA有较高的沸点，又能较好的溶于水，经过前面IPA的**脱水和该槽的蒸汽浴洗，工件表面已仅存IPA，经过高温后**地散失，可以实现表面高清洁度和干燥之目的；电机采用“东力”电机，工作稳定性、可靠性实践证明良好。
使用清洗剂及达到效果：
光通信滤光片与加工后的镀膜材料,经清洗后满足以下洁净度要求:
1、不应残留干燥斑点和污痕（如脏污、白点、水印等）；
2、表面不应有泛白、泛蓝等的化学变质；
3、表面不应有暗伤等的物理变质；
4、清洗过的光学材料，可达到光学行业要求的外观标准；
5、验收标准:清洗后≤1um颗粒残留。
注意事项：
将机器放置于干燥通风处，机器后部距离遮挡物大于30mm，以便散热。出现工作异常时请与维护工作人员联系，切勿随便开盖，以免造成危险；机箱的电源保护地线必须保证良好接地，以免发生意外触电危险。 |
