微型传感器是指那些至少有一个物理尺寸在亚毫米量级的传感器。与传统的传感器相比,因其制作工艺与半导体IC 工艺不兼容,所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器相适应,于是制约了个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。 与传统传感器相比,微型传感器具有以下优势: 1、自补偿功能:信号检测中的非线性误差、温度变化及其产生的信号零漂和灵敏度漂移、响应时间延迟、噪声和交叉检测的补偿功能; 2、自诊断功能:电源接通时系统自检,系统工作时自检,系统故障时自诊断,故障位置和确定; 3、自校正功能:系统中参数的设置和检查,测试中的自动量程转换,测量参数的 |