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聚焦式离子束显微镜FIB的利用液相镓金属的离子源，照射于样品表面以取得影像或去除物质。此种功能与FESEM 场放射性扫描电子显微镜相似，但FIB利用镓离子撞击样品表面。搭配有机气体**的选择性蚀刻与沉积导体或非导体。其主要应用于IC线路修正circuit edit、局部横切面 cross-section, 晶粒相差特性分析等。
电路修补 Circuit Edit利用聚焦离子束显微镜FIB...
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