利用表面工程技术在关键零上制备表面保护涂层是实现零延寿和高可靠性要求的重要手段， 表面工程能制备出优于本体材料性能的表面功能薄层，赋予零耐高温、防腐蚀、耐磨损、抗疲劳等性能。钛及钛合金被广泛应用于航空、航天、船舶、化工和军事工业等领域，但其硬度低、摩擦系数高、耐磨性差、高温高速摩擦易燃等缺点严重限制了其进一步的广泛应用。在钛合金表面制备具有优异性能的硬质表面防护涂层可在保持基体钛合金的高强轻质特性的同时**改善其薄弱的表面性能， 满足一些行业的特殊使用要求。1、气相沉积在钛合金的众多表面改性工艺中， 气相沉积技术因沉积速度快、耗材少等特点而广受关注。常用的气相沉积技术包括物**相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。Ceschini 等人采用PVD 技术在Ti-6Al-4V 钛合金表面制备了TiN、(Ti，Al)N 和超晶格CrN/NbN薄层。结果表明，PVD 涂层具有明显高于基体材料的硬度，由于硬度的升高，TiN 沉积层的摩擦系数显著降低， 其在干滑动磨损条下的耐磨性能也得到了显著改善。Gr觟gler 等人通过CVD 方法在Ti-6Al-4V 合金表面沉积了金刚石涂层，

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