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二次离子质谱仪SIMS
一般常见的表面材料成份分析仪器有欧杰电子显微镜AES、化学分析电子仪ESCA以及二次离子质谱仪SIMS。其中二次离 子质谱仪具有高灵敏度的杂质侦测力，几乎对所有元素的侦测极限可达ppma百万分之一原子密度，对于部份元素的侦测极 限甚至可达ppba 十亿分之一原子密度，而被全方面的应用于半导体以及薄膜材料分析上。
SIMS分析优点
侦测极限可达ppma甚至ppba可侦测周...不锈钢门窗价格/铜梁区塑钢门窗厂家/重庆市铜梁区杨氏门窗有限公...不锈钢门窗价格/铜梁区塑钢门窗厂家/重庆市铜梁区杨氏门窗有限公司
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