聚焦离子束,双束聚焦离子束制备,聚焦离子束样品制备,宜特检测
双束聚焦离子束样品制备(Dual-beam FIB):
?iST宜特建置业界相当高阶FEI Helios 450S机台及FEI Helios 600机台,采三班制24小时运作,提供客户快速交期的高质量服务。
Dual-beam FIB机台能在以离子束切割样品时,同时用电子束对断面进行观察。宜特所建置的业界相当高阶机台,具备超高分辨率的离子束及电子束。能针对样品中的微细结构进行奈米尺度的定位及观察,大幅提升失效分析及TEM样品制备的成功率与影像质量。
双束型聚焦离子束显微镜的应用,主要以下列所述为主:
半导体组件故障分析(能力可达20nm高阶制程)半导体生产线制程异常分析磊晶与薄膜结构分析电位对比测试穿透式电子显微镜试片制作奈米级结构制作
关于宜特:
iST始创于1994年的台湾,主要以提供集成电路行业可靠性验证、材料分析、失效分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海,全球现已有7座实验室12个服务据点。目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。
免费咨询电话8009880501
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