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高分辨率自动化X射线检测系统,应用于半导体和SMT检测,装备有开放式X射线,全数字图像采集像链以及CNC数控编程。
性能参数
系统放大倍数和分辨率几何放大倍数可达2060倍总放大倍数可达12800倍 细节分辨能力使用纳米射线时可到200nm(0.2 μm)密度分辨率0.5%
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