机台名称：等离子体处理系统机台型号：PLAUX-PM12A机规格：1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm(H)电极规格：12层平板式电极板（850mm×550mm）电源系统：10KW等离子体发生源(40KHz，可选13.56MHz)控制系统：PC工控系统+PLC自动控制进气系统：2-5路工作气体可选：Ar、N2、H2、CF4、O2特点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。用途：适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。　　　★印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬接合板表面清洁、去钻污，软板补强前的活化。　　　★半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗。　　　★硅胶、胶、聚合体领域：硅胶、胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。

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