HORIBA质量流量计
SEC-Z512MGX质量流量计 EC-Z512MGX质量流量控制器
产 品 说 明
SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于**50slm N2 标称流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X数字式 / 模拟式质量流量控制器, 适用于**200slm N2 标称流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet? 质量流量控制器, 适用于** 50slm N2 标称流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet?质量流量控制器, 适用于** 200slm N2 标称流量.
概要
质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA STEC, 作为全球范围内市场占有率超过35%*1的流量计生产商, 长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在,手携全新的技术,HORIBA STEC 正在向全球推广新型的质量流量控制器: Z500系列。
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