制药、印染、制造、化工、化纤等行业在运作过程中会产生大量挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧法等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条的限制，具有潜在的优势。低温等离子废气处理设备已经还广泛的应用于环境保护、包装、纺织、料制品、汽车制造、电子设备制造、电制造、计算机制造、手机制造、生物材料、卫生材料、疗器皿、****、环保设备、石油天然气道、供暖道、化工子、半导体、航空航天等行业中。低温等离子废气处理工艺概述　　低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。&nbs

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