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激光束电阻异常侦测(OBIRCH)
OBIRCH的工作原理如下: 以激光束在IC表面扫描，激光束的部分能量被IC吸收转化为热量，造成被扫瞄区域温度变化，若IC金属互联机中存在缺点或者空洞，这些区域附近的热量传导不同于其它的完整区域，则该区引起的温度变化会不同，从而造成金属电阻值改变ΔR。如果在扫描同时对互联机施加恒定电压，则可侦测到为电流变化关系为ΔI= (ΔR/R)I。依此关系，将热引起的电阻变化和电流变化联系起来，把电流变化的大小与转为所成像的像素亮度并记录后，以像素的位置和电流发生变化时雷射扫描到的位置重迭成像。如此，就可以产生OBIRCH影像来定位缺点。 OBIRCH常用于芯片内部高阻抗及低阻抗分析及线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法，可以**地对电路中缺点定位，如金属线中的空洞、通孔(via)下的空洞，通孔底部高电阻区等，也能**的检测短路或漏电。
OBIRCH 能分析的 Defect 种类 :
Metal short or metal bridge。Gate oxide pin hole。Active area short。Poly short or contact spiking。Well short or source／drain short。Higher via／contact／metal／poly／AA resistance fail。任何有材质不一样或厚度不一样的 short or bridge or leakage or high resistance 等的IC失效情况。
关于宜特：
iST始创于1994年的台湾，主要以提供集成电路可靠性验证、失效分析、材料分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海，全球现已有7座实验室12个服务据点，目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。
激光束电阻异常侦测(OBIRCH)
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