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微光显微镜(EMMI)
对于半导体组件之故障分析而言,微光显微镜(Emission Microscope, EMMI)已被学理证实是一种相当有用且效率极高的诊断工具。该设备具备高灵敏度的CCD,可侦测到组件中电子-电洞对再结合时所发射出来的光子,能侦测到的波长约在 350 nm ~ 1100 nm 左右。目前此设备全方面的应用于侦测各种组件缺点所产生的漏电流,如: Gate oxide defects / Leakage、Latch up、ESD failure、junction Leakage 等。
侦测的到亮点之情况:
会产生亮点的缺点 - Junction Leakage; Contact spiking; Hot electrons; Latch-Up; Gate oxide defects / Leakage(F-N current); Poly-silicon filaments; Substrate damage; Mechanical damage及Junction Avalanche等。原来就会有的亮点 - Saturated/ Active bipolar transistors; -Saturated MOS/Dynamic CMOS; Forward biased diodes/Reverse biased diodes(break down) 等。
关于宜特:
iST始创于1994年的台湾,主要以集成电路行业可靠性验证、材料分析、失效分析、无线认证等技术服务。2002年进驻上海,目前全球已有7座实验室12个服务据点,目前已然成为深具影响力之芯片验证第三方实验室。
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