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湖北江海行集团公司,联系电话:13657173777、0717-5326125;联系人:付德春,网址:www.jhxjt.com/ 。注册资本5000万元,总投资2亿元,征用土地40亩,总部位于长阳创新产业园,目前下属已有6家分公司。宜昌后皇真空科技有限公司、南京新思路科技有限公司、沈阳江海行科技有限公司、宜昌众惢工贸有限公司、宜昌恒久远电子科技有限公司。主要从事PVD涂层及设备的研发应用、离子加工与激光加工及设备的研发应用。公司与武汉大学课题组合作共建,由武汉大学提供技术支撑,双方共同提供科研经费,公司承担生产、加工、销售和服务,是武汉大学建立的“产、学、研”一体化科研基地。
集成电路制造。当今信息社会,集成电路无处不在,每一块集成电路的制造都离不开离子注入工艺。随着集成度不断提高,器件尺度不断微缩,结深越来越浅,必须采用低能离子注入工艺,而低能条件下束流必然降低,且单体离子注入难以避免沟道效应,必须采用团簇离子束,其关键设备就是团簇离子源。
国内虽有团簇离子的基础研究工作,但设备研发和技术应用基本处于空白,与我国迅速发展的集成电路制造产业极不相称,导致的后果是集成电路生产的关键设备高度依赖进口。五轴磨床图片 |