概况及原理
罗茨真空泵又称机械增压泵，是一种旋转式容积真空泵。二个三叶转子与泵腔保持一定的间隙，通过一对同步反向旋转齿轮使二个转子在泵腔内旋转时互相不接触并保持一定间隙。
应用范围：
罗茨真空泵的优点是在较低入口压力时仍具有较大抽气速率，但罗茨真空泵不能单独使用，必须与前级真空泵配套使用。当前级真空泵将系统压力抽到罗茨真空泵允许启动压力时，才可启动罗茨真空泵。根据不同的工作压力和工艺条件，罗茨真空泵的前级真空泵可采用油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等。配置不同类别的前级真空泵后罗茨真空泵所能达到的极限压力有所不同。罗茨真空泵可广泛应用于需要大抽速和中等真空(10－1 －10－2Pa)的任何真空系统中。
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