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二维材料制备。以石墨烯为代表的二维超薄材料的发现,为质量选择的团簇离子束带来了新的用武之地,团簇离子束设备研发呈现出气体团簇和固体团簇离子束并重的发展趋势,为团簇离子束及团簇离子加工技术提供了更为广阔的市场。
该项目开展团簇离子源的设计和试制,开发出工程样机,用于超浅结注入、超薄材料制备的中间试验,并与应用厂家合作,开展应用推广,达到部分替代进口的目的。类金刚石镀膜报价 |