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AALBORG气体质量流量计

信息介绍：

AALBORG气体质量流量计

美国Aalborg, Aalborg气体质量流量计, Aalborg控制器
美国Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上**的气体质量流量计/控制器的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学、石油化工、医药、环保等领域。
产品特点：性价比高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。
设计特点：
－刚性金属结构
－流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm
－**压力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦气
－NIST系统标定可追踪的证明
－可倾斜的LCD读表
－0-5Vdc或4-20mA信号输出
－电路保护
－可用作便携式的设备
－0到100％比例显示
－可配备流量计算机

精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（标定精度），在给定的温度与压力值条件下。
重复性：±0.5％满量程
回应时间：实际流速±2％超过满量程25-100％一般2秒
温度系数：0.15％满量程／℃
压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）
气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）
输出信号：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻
传感器输出：＋12Vdc；**200Ω。＋24Vdc可选
时间恒量：800ms

气体压力：**1000psig（70bar）。可选20psig（1.4bar）
流体接触面材质：A：GFC铝系列为阳极电镀铝、316不锈钢、铜和氟橡胶圆环
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不锈钢系列：316不锈钢、氟橡胶圆环可选氯丁橡胶圆环。
方位灵敏度：水平到垂直旋转低于15度；标准校准是在水平位置
连接：GFC17和37：1／4 卡套螺纹VCR&#174;或1／8 卡套可选（GFC17）
GFC47：3／8 卡套螺纹
GFC57：3／8 卡套螺纹
GFC67：1／2 卡套螺纹
GFC77：3／4 卡套螺纹
VCR&#174;或3／4 卡套可选（GFC77）

信息明细：

名　称：	AALBORG气体质量流量计

类　型：供应
类　别：电子电气
地　区：上海上海
用　户： shsxgd
日　期： 2019-09-20 14:19:54
发布IP： 139.226.72.18
参考图片：

联络方式：

张洋洋
上海盛霞光电科技有限公司
SHANGHAI SHENGXIA OPTIC &amp; ELECTRONICS CO.,LTD
地址：上海市曹安路1775号兆地商务A座615室
6/F Room 615,1775 Cao An Road,Shanghai,201803 RPC
, Shanghai ,China
Http://www.sx-company.com
Email:zyy@sx-company.com
Tel:0086(21)32190091-8003
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Cell:0086(18964352848)
QQ:3191541746

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