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　　1、低压气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
　　2、半导体刻蚀工艺；
　　3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺；
　　4、在食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等；
　　5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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