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点针垫侦错 CAD Probe Pad
FIB可在IC上做讯号撷取点。利用FIB将要量取之讯号点拉到IC表面,并利用机械式探针Mechanical prober 撷取IC内部讯号。
利用Mechanical prober量测讯号时,将IC放到测试板提供测试所需之电压环境。一般IC内部讯号驱动能力较弱,可能推不动导线加上示波器的负载,造成方波变成三角波、DC准位降低等问题,可利用Active Probe来改善此现象。
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