主要设备组成a. 真空机组扩散泵或分子泵；国产特殊定制罗茨旋片机组，抽速为1000m3/h。b. 电控系统机组入口压力控制真空泵起动、机组入口高压力变送，控制机组及各真空泵启动顺序、扩散泵的控制、真空机组和维持真空泵的转换、电流电压独立显示。过载保护、设有急停按钮、电控箱喷处理。控制系统采用施耐德主元器、国产智能复合真空计，能实现手动开启机械泵、罗茨泵、扩散泵以及相关阀门，真空计显示系统和真空泵不同位置的真空度。每路负荷的电流均为数字显示。系统主阀与旁通阀互锁、前级阀与旁通阀互锁、罗茨泵达不到启动真空度不能开。c. 氮气置换系统氮气置换器为独立可移动模块化设计，以便于观察和使用;置换氮气的压力和温度根据生产需要可以进行适当调。d. 内加热系统及温控系统循

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