ZD-500B小型立式磁控真空镀膜机
1、电镀采用主要有铝,镍、铬、铜、等材料也可以电镀,颜色有银色,金色,黑金色等。
2、外型结构:采用立式单开门开合式结构。真空室內腔尺寸500(宽)X 550(高)。真空室及转架采用优质不锈钢材料制造.
3、结构功能:真空室内配备一套10KW电子调压磁控镀膜电源系统和一条纯镍靶材。配备一套公转架,采用微量电机无级变速。
4、机组配置:配备K-300机组。其中包括 K300扩散泵一台(2KW)、2X-15升旋片泵一台(1.5KW)。
5、电控功能:采用手/自动 2种控制式配数显式真空计。操作更方便。
对泵、靶缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施
6.恢复真空抽气时间(新机、空载、干燥):从大气抽至5×10-2Pa≤5min
机配套总功率15KW,操作实际用电量约60%-80%.
7.设备实行一年三包期。 |