高纯水设备在光学中的应用在晶体、集成电路生产中，纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，硅片氧化的水汽源，分设备的冷却水，配制电镀液等。集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属会使绝缘膜耐压不良，重金属会使PN结耐压降低，Ⅲ族元素会使N型半导体特性恶化，V族元素会使P型半导体特性恶化，水中**高温碳化后的磷会使P型硅片上的局区域变化为N型硅而导致器性能变坏，水中的颗粒如吸咐在硅片表面，就会引起电路短路或特性变差。集成电路生产对纯水水质的要求。

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