（1） 在精密视觉检测设备中，如硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度,实现其中的精密直线运动对个复合运动平台至关重要.采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台,阐述了其机械系统和控制系统设计过程.实验结果和实际应用表明:本平台比目前采用滚珠丝杠驱动的直线运动平台具有更高的精度、更大的加速度、运行更平稳和更长的寿命等优点,可以完成硅片检测过程要求的运动,运动精度满足了应用场合的要求.</p><p> (2)在数控加工行业中，传统的“旋转电机+滚珠丝杠”的传动式所能达到的进给速度为30m/min，加速度仅为3m/2s。直线电机驱动工作台，速度为传统传动方式的30倍，加速度是传统传动方式的10倍，可达10g；刚度提高了7倍；直线电机直接驱动的工作台无反向工作死区；由于电机传动惯量小，由其构成的直线伺服系统可以达到较高的频率响应。此外，在压力机、坐标测量

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