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几个概念的理解：
真空：真空指的是空气的稀薄程度，通常以一个大气压强作为参考的标准，低于一个大气压强视为真空状态。真空环境可粗略地分为：低真空>102 Pa，中真空102~10-1 Pa，高真空10-1~10-5 Pa 和超高真空<10-5 Pa。通常，把能够从密闭容器中排出气体或是容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。
真空泵相关分类：
(1)液环真空泵；
以水为工作介质的一种旋转式真空泵，液环真空泵通常也叫水环式真空泵，具有大抽量，环保、易以维护等特点，常用于租真空领域使用。
(2)油封式真空泵；
油封式真空泵大多以旋片式类型为主，以真空泵油为密封、润滑为介质，同属于粗真空泵浦，但它的真空度相对以水环式真空泵，真空度更加稳定，实际设计体积小，不占用空间，同时稳定的抽速与真空性能高，得到了广泛的运用。
(3)干式真空泵；
干式真空泵，基于它自润滑而著称，在印刷行业干式真空泵以干式旋片式真空泵居多，半导体、LED封装测试则以螺杆、爪式、复合型干泵居多，这种泵通常以大抽速、高真空为其重要特点。
(4)罗茨真空泵
以8字型转子为机理，不能单独使用，需配备前级泵进行抽气，能够更快，更大的提高前级泵的抽速以及真空要求。 |
