鑫宏星单晶金刚石刀具的新型加工方法|深圳砂轮厂家　深圳市鑫宏星磨具磨料有限公司　1688批发网:http://hxdiamond.1688.com/

鑫宏星单晶金刚石刀具的新型加工方法中的离子束溅蚀法：

离子束溅蚀法是利用高能离子的轰击作用直接对被加工工件进行物理溅蚀，以实现原子级的微细加工。离子束溅蚀法的加工原理如图1所示。采用扩散泵使加工室达到10-5torr的真空，然后充入压力为5×10-4torr的工作气体(如氩气)。钨阴极与环状阳极之间的电压为40V，可保证电极间的持续放电。磁铁产生的轴向磁场为热激发电子形成一个螺旋形长通道，可
氩气电离为等离子体。由等离子体中释放出的离子束通过双层栅极聚焦系统(其中内栅起隔离作用，外栅用于离子束的加速)，由此形成具有强方向性及低散射能的簇射离子束。被加工的金刚石安装在一个倾斜角可调的回转工作台上，距栅极约5mm。通过改变回转

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