采用传统的机械研磨方法制造金刚石刀具时,因研磨线速度高,局部压力大,对刀具表面及刃口冲击剧烈,不可避免地会导致刀具表面产生微小沟纹和较厚的加工变质层,且刀刃锯齿度较大,从而限制了刀具质量的进一步提高。试验表明,采用机械方法研磨金刚石的表面粗糙度极限值约为3nm,刀刃锯齿度最小只能达到几十纳米的数量级,表面加工变质层厚度约为200nm。
随着超精密加工技术的不断发展以及加工精度的不断提高,对金刚石刀具的精度及质量要求也更为苛刻。研究还发现,刀具表面变质层厚度将直接影响刀具的寿命与零件的加工质量。因此,开发新型的金刚石刀具加工方法无疑是**机械研磨方法对刀具质量限制的**途径。
此外,如高精度轮廓仪、隧道扫描显微镜、原子力显微镜等仪器中使用的金刚石探针的前端球顶圆弧半径要求达到或小于1~2μm,精度要求高于0.1μm;加工光通信用光栅表面的微细沟纹时,需要使用刀尖圆弧半径为0.1~3μm, |