分子泵的清洗: 一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下: 1.关掉分子泵,进行排气。 2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。 3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等 4.拆掉润滑的油包 5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6.往容器中用人无水酒精,高度以前级真空接口略低为宜. 帕纳光电代理维修销售安捷仑,瓦里安各系列型号分子泵,主要用于医疗行来,全新,二手,及维修备件长期备货,库存充足,可以做到国内销售*便,维修时效**. 国内**一家同时采用德国及日本2-4通道在线高速动平衡调整技术,也是**维修时效**的分子泵维修公司! 广东省**的分子泵销售及专业维修厂家 中山分子泵销售供应 分子泵现货供应 优点 涡轮分子泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑轴承,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵 气体输送能力强 大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。 |