真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 所谓湿式罗茨真空泵,即是由间级或双级泵吸入的空气经压缩后,通过综合吸收及有相位差的组合消音器传送。将微量的水注入泵内,便能**因压缩空气而产生的热量。吸入水管装在单级或双级泵组的吸气端并连接到真空泵的进气口上。水是靠真空泵产生的真空度而吸入,真空度越大,吸入水量就越高。用一只简单的调节阀门便能保证**的吸入量,吸入水的温度应保持在20度左右,要清洁,无钙质。在罗茨真空泵的排气口处设置密集的冷却片,冷却片用冷水管进行冷却,或在泵的排气口处直接安装冷却水管,这样排气口处的气体就会降温,这种冷却方法能**地散出罗茨泵转子在压缩气体中所产生的执量。而且当排气压力较高时,因气体分子的密度大,使热传导性能更好,其冷却效果也好些。使用这种方法能保证泵在较高的压差下作,实验证明,一台罗茨泵在30Torr压差下运转6h,其转子在外壳的温度差为22度,当在排气口处安装冷却器后,在85Torr压差下长其运转,其温差也不超过17度。一般说来,罗茨真空泵采用空气冷却之后,可将压差提高80Torr,而不加冷却器一般只能达到15~30Torr。 |