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涡轮分子泵和分子增压泵的相同点与不同点 1. 共同点: 涡轮分子泵和分子增压泵都是高真空泵,极限真空10-5Pa(10-7Pa);都工作在很高的转速(数万转/分钟);都有很高的压缩比(N2:108),所以都可以获得清洁真空。 2. 不同点 目前国内生产的以及绝大部分国外生产的涡轮分子泵都是立式泵,而分子增压泵是卧式泵,卧式泵对共振的控制比立式泵难度大;分子增压泵的工作压力和排气流量均比涡轮分子泵高出很多,可以达到数百帕;涡轮分子泵的转子是由涡轮叶片构成,而分子增压泵的转子是由平圆盘构成;涡轮分子泵工作在分子流状态,而分子增压泵可以工作在分子流和过渡流状态。 广州帕纳光电科技有限公司 维修销售分子泵、leybold、pfeiffer、varian、edwards畅销消费者市场,在消费者当中享有较高的地位,公司与多家零售商和代理商建立了长期稳定的合作关系。广州帕纳光电科技有限公司经销的分子泵、leybold、pfeiffer、varian、edwards品种齐全、价格合理。广州帕纳光电科技有限公司实力雄厚,重信用、守合同、保证产品质量,以多品种经营特色和薄利多销的原则,赢得了广大客户的信任 广东省**的分子泵销售及专业维修厂家 中山分子泵销售供应 分子泵现货供应 多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵,被抽气体可穿膛而过,不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。 |
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