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若是小范围且局部的Cross section分析，仍建议使用Dual-Beam FIB，边切边拍，让您快速取得结构图。但大范围结构观察剖面>100um或 深度>50um以上，即推荐使用PFIB，不但蚀刻速率提升20倍，可获得更精细的分析结果，又可避免使用...
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