主要特点:单极脉冲磁控溅射电源适用于金属、合金及石墨等靶材镀制纯金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明显性改善靶面电荷累积现象,减少溅射靶表面的打火次数,提高膜层质量。输出电压为单极性脉冲,具有平均电流稳流功能。1、DSP数字化控制/精度高/重复性好,配有控制面板和控制程序。2、具有过流、过热、过压、短路保护。3、控制方式:恒压、恒流、恒功率4、冷却方式:风冷;风冷+水冷5、根据用户要求预留PLC远控接口(远控功能)主要参数:空载电压≥1200V,工作电压:200-800V平均电流稳流精度1%脉冲频率:20KHZ-40KHZ,连续可调或定频脉冲占空比:10%-80%,连续可调按输出功率分为:5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、70KW、100KW |