主要特点JCL-ZDPY可方便地在带载情况下通过直流电压和脉冲电压实现直流、单极脉冲和直流叠加脉冲三种偏压模式。配合脉冲频率和占空比调节,可控制成膜温度增加膜基结合力,提高沉积和高品质镀膜系统。1、DSP数字化控制/精度高/重复性好,配有控制面板和控制程序。2、具有过流、过热、过压、短路保护。3、控制方式:恒压、恒流、恒功率。4、风冷5、根据用户要求预留光纤通讯接口(远控功能)主要参数负脉冲工作电压可分为A、B两档,每一档内的电压连续可调,脉冲上升、下降快,脉冲幅值稳定:A:100~1000VB:50~500V直流电压:20V~200V连续可调、自动稳压、稳压精度1%脉冲频率:20KHz~40KHz(连续可调或定额)脉冲占空比:10%~80%(连续可调)型号功率工作电压电流(脉冲)脉冲频率占空比冷却方式工作电压电流(直流)ZDPY-55kW100~1000V/4A20~40kHz连续可调? |