设备用途:
主要用于硅锭坩埚喷涂后的烧结;产品进入炉内后,根据产品的工艺曲线升温、保温、分段降温,总的工艺时间可以控制在27小时以内。
二、设备技术参数:
1.炉膛尺寸: 3000×950×950mm(L×W×H)。
2.炉体外型: 3900×1800×2250mm(L×W×H)。
3.**温度:1200℃。
4.工作温度: 1100℃。
5.控温精度: ±2℃(以仪表显示为准)。
6.装机功率: 180KW。
7.炉体表面温升: ≤35℃。
8.控温组数: 3个温区,3点控温。
9.加热方式:炉膛2侧面、后墙、炉门、台车共5面加热。
10.工作台承载:≤550kg。
三、设备组成部分:
1.炉体:由炉衬和骨架组成。
2.炉门:在台车进端设有炉门,炉门上设有一定的加热丝,加热丝呈下密上疏排列以提高炉膛内部温度的均匀性,为了提高炉膛的保温性,炉门用高铝纤维板和硅酸铝纤维板砌筑。
3.工作台车:工作台车主要用来承载产品,为了使坩埚受热均匀,在台车上放置有碳化硅管,坩埚放置在碳化硅管上,使其底部形成热气对流通道,这样使坩埚能充分均匀地加热。
4.密封装置:在台车与炉体的接缝处,设有一套自动密封装置,弥补台车与炉体之间的缝隙,彻底封住进入炉膛的空气。密封装置用2个微型电机进行开闭。
5.进风系统:进风系统由一台鼓风机、插板阀、管路组成。
6.排风系统:排风系统位于炉体顶部,主要由排风电机、蝶阀、集风罩、排风管组成。
7.电气控制系统。
注:可根据用户要求设计生产。
邮箱:admin@xyhgyl.com
网址:http://www.xyhgyl.com
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