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一、设备用途:
主要用于硅锭坩埚喷涂后的烧结；产品进入炉内后，根据产品的工艺曲线升温、保温、分段降温，总的工艺时间可以控制在27小时以内。
二、设备技术参数:
1.炉膛尺寸: 3000×950×950mm(L×W×H)。
2.炉体外型: 3900×1800×2250mm(L×W×H)。
3.**温度：1200℃。
4.工作温度: 1100℃。
5.控温精度: ±2℃(以仪表显示为准)。
6.装机功率: 180KW。
7.炉体表面温升： ≤35℃。
8.控温组数: 3个温区,3点控温。
9.加热方式：炉膛2侧面、后墙、炉门、台车共5面加热。
10.工作台承载：≤550kg。
三、设备组成部分:
1.炉体：由炉衬和骨架组成。
2.炉门：在台车进端设有炉门，炉门上设有一定的加热丝，加热丝呈下密上疏排列以提高炉膛内部温度的均匀性，为了提高炉膛的保温性，炉门用高铝纤维板和硅酸铝纤维板砌筑。
3.工作台车：工作台车主要用来承载产品，为了使坩埚受热均匀，在台车上放置有碳化硅管，坩埚放置在碳化硅管上，使其底部形成热气对流通道,这样使坩埚能充分均匀地加热。
4.密封装置：在台车与炉体的接缝处，设有一套自动密封装置，弥补台车与炉体之间的缝隙，彻底封住进入炉膛的空气。密封装置用2个微型电机进行开闭。
5.进风系统：进风系统由一台鼓风机、插板阀、管路组成。
6.排风系统：排风系统位于炉体顶部，主要由排风电机、蝶阀、集风罩、排风管组成。
7.电气控制系统。
注：可根据用户要求设计生产
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