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CY-O1200-60-4CLV-PE
主要用途：等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）技术是借助于辉光放电（等离子体）使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜生长的一种制备技术。我公司综合了多项实验要求设计生产了该款等离子pecvd系统，能广泛适应各类薄膜研究的需要比如：石墨烯制备、C纳米材料制备、氧化物制备。是一款****的薄膜制备器材。
产品简介
与普通的CVD系统相比，因为有等离子源的介入,系统的沉积温度相对较低。
触屏输入，微电脑全自动控制。
配备有滑轨式管式炉可以轻松实现快速降温，实现快速退火。
该系统**工作温度接近1150℃，能满足大多数热处理场合。
该设备可具体用于：碳、 ZnO 纳米管或纳米线的制备也可以用于制备单层石墨烯以及各种CVD实验。 |
| 郑州成越科学仪器有限公司
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