无尘无菌室 无尘无菌室设计 无尘无菌室施工 厦门闽台盛
无尘室根据洁净程度不同分很多等级
目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多 数字越小,洁净等级越高
1000级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗
100级的概念是:每立方英尺内,大于等于0.3的灰尘颗粒不能超过100颗
注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0. |