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微机械压力传感器也是传感器的一种，微机械压力传感器是最早开端研发的微机械商品，也是微机械技能中最老练、最早开端产业化的商品。进来微机械压力传感器的技能不进步，功用也越来越全部，使用的规模也是越来越广泛。
其一，将灵敏元件与信号处理、校准、抵偿电路及微操控器等进行单片集成，研发智能化的微视械压力传感器。
其二，进一步进步灵敏度，完成低量程的微机械压力传感器。这种微压传感器用于脉动风压、流量和密封件走漏量标识等范畴。
其三，进步作业温度，研发高低温微机械压力传感器。压阻式微机械压力传感器因为受Pn结耐温限制，只能用于120度以下的作业温度，然而在很多范畴迫切需求能够在高低温下正常作业的微机械压力传感器，例如磁量锅炉、管道、高温容器内的压力，井下压力和各种发动机腔体内的压力。目前对高温微机械压力传感器的研讨首要包含合金薄膜溅射微机械压力传感器，镀金高温光纤http://www.halma.cn/halma_brands/fiberguide/index.html微机械压力传感器，高温电容式微机械压力传感器等。
其四，开发谐振式微机械压力传感器。谐振式微机械压力传感器除了具有一般微机械压力传感器的长处外，还具有准数字信号输出，抗干扰能力强，分辨率和丈量精度高的长处。硅谐振式微机械压力传感器的鼓励检查方式有电磁激放电磁拾振、静电鼓励电容拾振、逆压电鼓励压电拾振、电热鼓励压敏电阻拾振和光热鼓励/光信号拾振。其间，电热鼓励/压敏电阻拾振的谐振式微机械压力传感器价格低廉，与工业IC技能兼容，可将灵敏元件与信号调理电路集成在一块芯片上，具有诱人的使用远景。这种传感器的温度穿插灵敏度较大，为此设计了一种具有温度抵偿功用的复合谐振式微机械压力传感器。
谐振器由在同一硅片上制造的微桥谐振器和微悬臂梁谐振器构成，微桥谐振器和微悬劈梁谐振器材料一样，厚度相等或附近，制造工艺完全一样，一起制造，因此两者对温度改变能够同步呼应。经过数据交融技能，作为温敏元件的微悬臀粱谐振器的谐振频率实时抵偿温度改变对微桥谐振器谐振频率的穿插灵敏度。经抵偿的谐振式微机械压力传感器的温度穿插灵敏度减小了两个数量级。光热鼓励光信号拾振的谐振式微机械压力传惑用具有抗电磁干扰、防爆等长处，是对电热鼓励压敏电阻拾振的谐振式微机械压力传感器的有利弥补，可是需求杂乱的光学系统.不易完成，本钱较高。 |
