半导体废气环保设备 活性炭催化燃烧 专业工况定制
吸附脱附＋催化燃烧设备

（1）预处理系统 零排放

考虑到生产过程中有粉尘，需对汇集后出外墙的管道中的废气进行预处理；通过初效过滤器（G4）及中效过滤器（F8）作为过滤装置，预处理后进入排风总管其作用是去除残留在废气中的颗粒物，保护后续回收装置的正常运行。

（2）有机废气净化系统

本项目采用“收集+预处理+活性炭吸附、脱附装置处理+催化燃烧”主要包括以下两个部分：1）经过预处理后的废气，经活性炭吸附系统处理后通过排气筒高空排放。2）活性炭饱和后利用热空气进行脱附，脱附后气体经过催化氧化系统进
行进一步处理净化后排放。

活性炭工作原理分二分部：一是吸附，二是脱附再生。

吸炭脱附流程、吸收气体流程、控制系统

1.废气收集系统：待处理废气由收集风管收集后排至废气处理装置进行处理。

2. 颗粒物去除段：从室内排至室外的排风管道首先进入初效过滤器对粉尘进行过滤，不经过预处理，直接送入活性炭箱吸附易造成活性炭堵塞，影响其吸附能力，故要通过干式初效过滤箱来去除这些成分。

3. 活性炭吸附段：经过预处理后的废气进入活性炭吸附箱，气体进入吸附箱后，气体中的有机物质被活性炭吸附而着附在活性炭的表面，从而使气体得以净化，净化后的气体再通过风管接入下处理设备。

4. 脱附气体流程：当吸附床吸附饱和后，可启动脱附风机对该吸附床脱附，脱附气体首先经过催化床中的换热器，然后进入催化床中的预热器，在红外热器的作用下，使气体温度提高到 300℃左右，再通过催化剂，有机物质在催化剂的作用下燃烧，被分解为 CO2和 H2O，同时放出大量的热，气体温度进一部提高，该高温气体再次通过换热器，与进来的冷风换热，回收一部分热量。从换热器出来的气体分两部分：一部分直接进入下处理设备；另一部分进入吸附床对活性炭进行脱附。当脱附温度过高时可启动补冷风机进行补冷，使脱附气体温度稳定在一个合适的范围内。活性炭吸附床内温度超过报警值，自动启用火灾应急自动喷淋系统。

5. 吸收气体流程：经活性炭净化后的气体和催化燃烧炉处理后的气体，高空排放。

6. 控制系统：控制系统对系统中的风机、预热器、温度、电动阀门进行控制。当系统温度达到预定的催化温度时，系统自动停止预热器的加热，当温度不够时，系统又重新启动预热器，使催化温度维持在一个适当的范围；当催化床的温度过高时，开启补冷风阀，向催化床系统内补充新鲜空气，可**地控制催化床的温度，防止催化床的温度过高。此外，系统中还有防火阀，可**地防止火焰回串。当活性碳吸附床脱附时温度过高时，自动启用补冷风机降低系统温度，温度超过报警值，自动开启火灾应急自动喷淋系统，确保系统，整个系统采用 PLC自动控制。

7.活性炭吸附管设备内壁采用双层碳钢外壳，钢板厚度2.0mm，保温厚50mm，法兰有连接的地方采用胶垫防腐。

资讯来源：催化燃烧  

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