射频滤波器发展至今,基本主要有两种构型,其中,一类是SAW滤波器(声表面波,Surface Acoustic Wave),另一类是BAW滤波器(体声波,Bulk Acoustic Wave),而BAW滤波器又可细分为SMR(固态装配谐振器,Solidly Mounted Resonator)和FBAR(薄膜腔谐振器,Film Bulk Acoustic Resonator)4-6。目前市场主流的滤波器是SAW(声表面波滤波器)、BAW(体声波滤波器)和FBAR(薄膜腔声谐振滤波器)。半导体抛光液、射频滤波器抛光液是其中一道工艺流程。
随着5G通信技术革新浪潮兴起,对于国内射频滤波器公司而言,发展滤波器技术顺水推舟,具备充分的势能,后续有望慢慢打破国外垄断,发展出自己的专利技术。
在射频滤波器中有道“抛光”流程,需要用到CMP抛光技术,其中的耗材如CMP抛光液、抛光垫等,需要从国外采购。随着国内半导体事业发展飞速,很多物料遭受国外卡脖子限制,射频滤波器抛光液的采购过程艰难,不仅价格高交期久,国外厂商故意断供的风险也是存在的。所以国产替代进口迫在眉睫,是挣脱束缚的途径。
吉致电子25年内致力研发cmp抛光耗材,获得多项CMP抛光液专利技术。吉致电子的CMP化学机械抛光液无论是RR、dishing、range等效果都是不错的,对于si和psg的选择比也是很好,**替代CABOT D3586的slurry。已为国内不少射频滤波器厂家提供cmp抛光液及技术,累计了很多优质的半导体客户。吉致电子的国产射频滤波器抛光液在国内生产销售,比海外采购成本低,且有工程师驻厂指导解决工艺难题更适合中国的视频滤波器厂家。
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