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在可以制造机器的这几家公司中,特别以荷兰(ASML)技术最为先进。价钱也最为昂扬。光刻机的技术门槛极高,可谓人类聪慧集大成的产物。
“十二五”科技成就展览上,上海微电子配备公司(SMEE)消费的中国**的光刻机,与中国的大飞机、登月车并列。它的加工精度是90纳米,相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。国外曾经做到了十几纳米。
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