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　　罗克自动化科技有限公司从事多种品牌工业变频器，逆变器，伺服器，调速器，触摸屏等业务，现已成一家专业的全球性工业自动化备件及零部件的销售维修型企业。

　　XU-RCM2500T S03984-1-2晶片机器人渠道商介绍，随同着自动化改造热潮的兴起，AGV+机械手集“手脚”两项功用于一身的复合型机器人也越来越被各行业追捧。从行业需求上来看，汽车和半导体等电子设备对机器人的需求日益增长，其中复合机器人成为半导体行业应用较为成熟的智能设备。

　　半导体行业对机器人的应用请求

　　半导体行业包括了众多范畴，在这些范畴当中又有着很多复杂的工序，比方前期的晶体制造、中期的封装集成，还有后期的组装包装、运输等等。机器人进军半导体行业既是一种应战也是一种趋向，机器人自身需求具有易运用、性能灵敏笨重，不只要满足无尘空间的等级请求，还要当心易碎的产品，对极为细微的器件需求高度精准地定位、放置和组装。

　　半导体行业对工业机器人的请求非常严厉，在真空环境下，要保证机器人的干净度，由于半导体产品的特殊性，还请求机器人防震，防颤动，静音消费，可以有精准到5mm的反复定位等等。

　　复合型机器人在半导体行业中的应用

　　复合型机器人作为新型物流设备，柔性水平高，顺应才能强，交融了智能驱动导航技术等关键技术，可完成物料的自动搬运、智能分拣，已普遍应用在国际知名半导体行业中，并获得了较好应用效果。

　　依据中国挪动机器人（AGV）产业联盟、新战略机器人产业研讨所数据统计，目前全球半导体行业中AGV和机械手组合的复合型机器人的应用曾经到达约5000台，松下、西门子、富士通、环旭电子、华通科技、晶元光电等半导体企业，都将相关的AGV机器人应用到了消费中。

　　在半导体行业中AGV挪动机器人应用最普遍，AGV传送自动化也是传送系统自动化的一项内容，它已成为了现代化半导体工厂自动化系统中**的单项投资项目。

　　挪动搬运机器人（AGV）为半导体产品提供物流支持，能够完成车间内、车间与车间的自在挪动。物流设备自动化通常和传统流水线，自动平面库，AGV小车等其他传送相关的执行器，包括如何将其运送到工艺设备端或者在不同的存储区域之间停止调度，以及晶片在工艺设备内部的传送（包括物料缓冲区，装载端口，晶片传送机械手臂等）。

　　半导体加工环境请求在其内运转的设备需求具有高干净等级、防静电、高牢靠性等特性。所以在IC环境下所用的复合机器人在满足根本搬运请求的同时还要统筹上述特性。

　　在半导体消费车间中，AGV挪动机器人的轮子要契合规范，调控必需便利，还必需是无轨导航。这样一系列的高规范让不少机器人企业望而却步，但从另一个角度看，这阐明半导体行业“门槛较高”，这也给复合机器人企业的进入设定了一定的条件。

　　新松为半导体行业开发的真空机器人及复合机器人

　　干净（真空）机器人及半导体配备作为新松公司的中心业务之一，现已构成大气机械手、真空机械手、EFEM、真空平台、STOCKER和AMHS系统多个产品线。干净产品客户现已普及大陆以及台湾地域。

　　目前，新松干净机器人已彻底**国外同类企业在半导体范畴的垄断场面，具有国内市场50%以上份额。

　　新松复合机器人基于挪动机器人和工业机器人系统的创新交融，综合视觉补偿、力觉控制、碰撞维护和主动导航等技术，可快速规划自动化工厂，顺应高柔性化消费形式，主要应用于半导体封装测试环节，可满足FOUP,CST,MGZ在各机台间的自动运输，终端定位精度可达±0.05mm，CLASS 100干净度，能为半导体消费应用提供**的系统处理计划。

资讯来源：汕头罗克自动化  

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