氧化铝抛光液在蓝宝石窗口中的应用α-氧化铝Al2O3是众多氧化铝晶相中的最稳定的晶体相,它由其他晶相的氧化铝在高温下转变而成,是天然氧化物晶体中硬度**的物质,硬度仅次于金刚石,远远大于二氧化硅溶胶颗粒,它是一种常用的抛光用磨料,被广泛用于许多硬质材料的抛光上。在CMP抛光液制备中,氧化铝抛光液www.jzdz-wx.com/常用于在蓝宝石窗口的镜面抛光工艺中。
α-氧化铝Al2O3其实与蓝宝石是同一种物质或材料,材料结构中的原子排列模式完全相同,区别在...吉致电子 射频滤波器抛光液slurry厂家射频滤波器发展至今,基本主要有两种构型,其中,一类是SAW滤波器声表面波,SurfaceAcousticWave,另一类是BAW滤波器体声波,BulkAcousticWave,而BAW滤波器又可细分为SMR固态装配谐振器,SolidlyMountedResonator和FBAR薄膜腔谐振器,FilmBulkAcousticResonator4-6。目前市场主流的滤波器是SAW声表面波滤波器、BAW体声波滤波器和FBAR薄膜腔声谐振滤波器。半导体抛光液、射频滤波器抛光液是其中一道工艺流程。
随着5G通信技术革...碳化硅衬底抛光液的特点碳化硅半导体晶片的制作一般在切片后需要用CMP化学机械抛光液进行抛光,以移除表面的缺陷与损伤。
碳化硅Sic晶片以高纯硅粉和高纯碳粉作为原材料,采用物**相传输法PVT生长碳化硅单晶,再在衬底上使用化学气相沉积法CVD法等生成外延片,**制成相关器件。
碳化硅衬底具有碳极性面和硅极性面,因为碳面与硅面的极性不同,所以化学活性也不同,故双面cmp抛光速率具有差异。
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