RFS-1330L ULVAC爱发科射频电源
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　　AE PINNACLE-20K, PINNACLE 20K RF Generator, 3152412-119
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　　AE Advanced Energy 3155301-007 RF Match Navigator AMAT 0190-42448
　　AE Apex-3013 RF Generator, Apex3013, Apex3K2pin, 3156114-001
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　　AE Advanced Energy 3150852-00* RF Generator VHF 2060 AMAT 0190-14416F
　　AE Advanced Energy 3155132-001 RF Match AMAT 0190-27576
　　HFV-8000 AE Advanced Energy 3155083-192 RF Generator AMAT 0190-15553
　　AE APEX 1500/13 RF GENERATOR / 3156110-007, 0920-00067, APEX-1513
　　AE P5000 CVD RF MATCHER / 0010-09750
　　AE LF-5 RF Generator 500W 3150012-009
　　AE Advanced Energy PDX 900-2V RF Generator 3156024-132 0190-08677-002
　　AE Advanced energy MDX-L6 RF generator 3152317-000A Power supply
　　AE HFV 8000 RF Generator 3155083-109B 5kW 0190-01873
　　AE PINNACLE-20K, PINNACLE 20K RF Generator, 3152412-233, 0190-25724-001
　　Apex 1513 AE Advanced Energy 3156111-207 RF Generator 0920-00127
　　AMAT 0190-15168, AE Advanced Energy 3155132-001 E, Navigator RF MATCH
　　AE Advanced Energy 3155031-014 RF Match
　　E Advanced Energy 3155000-000 RF Match Navigator AMAT 0190-30887
　　PDX 900-2V AE Advanced Energy 3156024-110B RF Generator
　　AE Advanced Energy Apex 3013 RF Generator 3156114-005 Rev.A rebuilt 0920-00128
　　AE RFPP LF-5 RF GENERATOR 500W LF-5SWC 7520572050 0920-01014
　　Advanced Energy, AE OVATION-2760 RF Generator, 3150292-007
　　AE Advanced Energy RF Generator APEX A3H2C200BA120G001A 10 kW/13
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　　AE Advanced Energy HFV 8000 RF Generator 0920-01122
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　　AE Advanced Energy 3155169-009 RF Match Navigator AMAT 0190-23122
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资讯来源：汕头罗克自动化  

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