M-320XG ANELVA安内华真空计
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有关工业机器配件的内容：　　压力控制仪可在手动和自动两种工况下运行。当开关S打到手动位置时，压力控制仪相当于一个手动微调真空阀，进行手动压力调节；当开关S打到自动位置时，压力控制仪构成一个闭环的自动控制系统，可实现压力定值自动调节其调节过程是：首先由给定单元设定希望控制的压力值，根据具体的被控对象的特性，选择好PID调节单元的比例度艿、积分时间Ti、微分时间Td等参数，当真空测量单元输出一个表征被控真空装置真空室压力高低的电压信号时，压力节单元可将压力设定值与压力测量值进行比较，并将差值进行运算（例如P、PI、PID）；然后通过驱动电路，驱动真空调节阀，改变进入真空室的气体流量，从而使真空室内的压力维持在给定值上。当然，这是理想的控制状态，实际上，由于压力控制仪的压力调节单元的特性所致，被控压力只能是趋近于给定压力值，并与给定压力值保持允许的偏差范围内。这个偏差值的大小，即表示压力控制仪压力控制精度的高低。
　　真空气体流量调节元件
　　从原理上讲，一般手动真空调节阀，配上适当的控制电机（如伺服电机、步进电机等）或液压缸，通过调节控制电机或液压缸的控制信号，使控制电机或液压缸动作，从而改变真空阀的流导，于是改变了流过真空阀的气体流量，完成在真空装置中真空室的真空度的自动调节。但是，目茼我国真空仪器厂家生产的真空气体流量调节阀仅有电磁调节式、质量流量计式及压电式三种，而国产压力控制仪多选用压电阀作为真空气体流量调节元件。
　　压电阀是利用压电效应制成的一种真空气体流量调节阀。压电阀的核心部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时，它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时，带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化，从而改变气体通过压电阀的流量。当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时，由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上，使压电阀气路关闭。因而，可以通过改变施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小，来改变压电阀的流导，从而改变流过压电阀的气体流量。于是，可实现真空装置的真空室中的真空度调节。
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资讯来源：汕头罗克自动化  

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