对洁净空调系统来说,减少排风,尽量利用回风,比普通空调系统具有更大 的技术经济意义。需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
应根据不同的排风对象选择排风系统,具体如下:
(1)
无机排风湿式处理以使用无机药品的化学通风的排风为主,平时仅排 出空气,混有药品气体的特殊作业环境排风时用这种系统。强腐蚀性、强酸性气
体混合时要用聚氯乙烯板材制作风道,末端用湿式处理(洗涤器)将有害气体溶 于溶液再排到空气中,风道中途水平管上要设排水口。
(2)有机排风干式处理用于乙醇、三氯乙烯等溶剂或光刻胶处理等,管材 用聚氯乙烯会被溶解,故用不锈钢。末端为干式处理,通过活性炭过滤器,吸附 有机溶剂。
(3)特殊排风湿式处理用于氢、甲烷等爆炸性气体的排风,末端是湿式排 风,溶于水再排出。管材用聚氯乙烯或不锈钢。甲烷和空气接触有燃烧危险,所 以即使用聚氯乙烯管,其末端还必须用金属管;制膜(也包括外延)工序用氯气 很多,不锈钢管长期使用也会腐蚀。
(4)泵的排风湿处理工艺装置内的排风和泵的排风,由于会积油,不要和 可产生火星的排风连在一起。
(5)热排风湿处理氧化装置、烧结炉的散热排风属该类型,可热回收。
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