由于载体的齿轮是与中心轮及齿圈相啮合，在其间形成的磨损屑不仅会沽在载体上而且也会沽在抛光晶片上， 这些都直接影响双面抛光晶片的平面度和表面粗糙度.
由于每个载体都是绕自己的轴线回转，载体内外缘的圆周速度不同，这使载体内外缘的工件不能被均匀的抛光 ，同时载体通孔内的工件也是回转的，工件内外缘的圆周速度也不同，即工件表面上各点的抛光运动速度不等.这 使同一工件内外缘也不能被均匀地抛光。
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